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应用领域:
GKS系列扩散炉主要应用于半导体材料的扩散、氧化工艺,同时也用于石英制品的退火、稀有金属粉末和发光材料的煅烧等工艺。
主要特点:
1、采用高纯石英管作为内炉膛,具有优良的洁净度。
2、全部采用超轻质的陶瓷纤维制品耐火保温,整机结构小、能耗低、升温快。
3、加热元件采用真空吸滤成型的陶瓷纤维加热器(FEC),响应快、效率高、寿命长。
4、温控系统采用进口多段智能程序温度控制仪控制,具有良好的稳定性和一致性。
设备型号: | GKS(D)-09/90/3 | GKS(D)-18/110/3 | GKS(S)-09/90/3 | GKS(S)-18/110/3 | ||
最高温度: | 1050℃ | 1050℃ | 1050℃ | 1050℃ | ||
使用温度: | RT~1000℃ | RT~1000℃ | RT~1000℃ | RT~1000℃ | ||
控制精度: | ±1℃ | ±1℃ | ±1℃ | ±1℃ | ||
温区个数: | 3个 | 3个 | 6个 | 6个 | ||
炉管材质: | 高纯石英 | 高纯石英 | 高纯石英 | 高纯石英 | ||
发热元件: | Kanthal电阻丝 | Kanthal电阻丝 | Kanthal电阻丝 | Kanthal电阻丝 | ||
加热区长度: | 900mm | 1100mm | 900mm | 1100mm | ||
炉管尺寸: | Ф90×1800 | Ф180×2100 | Ф90×1800 | Ф180×2100 | ||
加热功率: | 7.5Kw | 15Kw | 15Kw | 30Kw | ||
GCVD-o/o/o | Z | 真空系统:单级机械泵 | ||||
Q | 气氛系统:浮子流量计、质量流量计 | |||||
J | 记录系统;触摸屏记录、无纸记录仪 | |||||
更多规格可以根据工艺需求定制 |
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