您好!欢迎光临本站!今天是2017年11月25日
收藏本站
公司标志

GKS系列扩散炉

GKS系列扩散炉

发布日期:2015-7-27 浏览次数:803

应用领域
GKS系列扩散炉主要应用于半导体材料的扩散、氧化工艺,同时也用于石英制品的退火、稀有金属粉末和发光材料的煅烧等工艺。
主要特点
* 采用高纯石英管作为内炉膛,具有优良的洁净度。
* 全部采用超轻质的陶瓷纤维制品耐火保温,整机结构小、能耗低、升温快。
* 加热元件采用真空吸滤成型的陶瓷纤维加热器(FEC),响应快、效率高、寿命长。
* 温控系统采用进口多段智能程序温度控制仪控制,具有良好的稳定性和一致性。 

设备型号:

GKS(D)-09/90/3

GKS(D)-18/110/3

GKS(S)-09/90/3

GKS(S)-18/110/3

最高温度:

1050

1050

1050

1050

使用温度:

RT~1000℃

RT~1000℃

RT~1000℃

RT~1000℃

控制精度:

±1℃

±1℃

±1℃

±1℃

温区个数:

3

3

6

6

炉管材质:

高纯石英

高纯石英

高纯石英

高纯石英

发热元件:

Kanthal电阻丝

Kanthal电阻丝

Kanthal电阻丝

Kanthal电阻丝

加热区长度:

900mm

1100mm

900mm

1100mm

炉管尺寸:

Ф90×1800

Ф180×2100

Ф90×1800

Ф180×2100

加热功率:

7.5Kw

15Kw

15Kw

30Kw

 

 

    行业领域