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行业动态

真空炉生产技术的进步体现在哪里

发布日期:2019-01-04 浏览次数:277

  真空炉作为一种工业设备,在材料的热处理、加工、制备、烧结、焊接和镀膜等方面具有广泛的用途;但现有的真空炉在径向上只有一个真空腔,由于真空腔的内外压差很大,所以密封难度很高,不但制造成本高、工艺复杂,而且维护成本也很高;特别是高真空炉,其真空腔的气压低至10_4Pa,而外部的大气压却高达15Pa,两者相差19倍,巨大的压差对真空腔的焊接成型、真空管道的连接、炉门的密封等提出了很高的要求,只要出现些微的渗漏,就难以达到所要求的真空度。

  现有的连续式真空炉,由放片台、真空预抽室、真空焊接室、真空退火室、冷却室、取片台和中心控制系统等组合而成。现有的连续式真空炉有多个真空室组成,每个真空室在径向上只有一个真空腔,对于真空焊接室来说,其真空腔的气压只有0.1-0.0OlPa,而外部的大气压高达15Pa,两者相差16-1O8倍,巨大的压差对真空腔的焊接成型、真空管道的连接、炉门的密封提出了很高的要求,只要出现些微的渗漏,就难以达到所要求的真空度,所以制作难度很大、制作成本很高,一条连续式真空炉的造价高达数千万元。